| 查看: 1357 | 回复: 2 | ||
8627lyp木虫 (正式写手)
|
[求助]
单晶硅掺杂：离子注入、退火、热扩散的仿真软件 已有1人参与
|
|
如题，做单晶硅掺杂：离子注入、退火（或者加一个热扩散）整个加工工艺的仿真软件有哪些？ 或者有什么算法可以计算、有什么参考书可以参考的，最后得到离子注入、退火（或者加一个热扩散）工艺后的掺杂浓度与深度的关系图。 我知道SRIM（或叫TRIM）可以算注入离子的能量和剂量，但仅算到这一步而已。 |
回复此楼» 猜你喜欢
生物学学硕求调剂
已经有5人回复
-
284求调剂
已经有10人回复
-
一志愿山东大学药学学硕求调剂
已经有4人回复
-
07化学280分求调剂
已经有4人回复
-
298-一志愿中国农业大学-求调剂
已经有12人回复
-
求材料，环境专业调剂
已经有3人回复
-
335求调剂
已经有5人回复
-
求调剂
已经有7人回复
-
一志愿吉大化学322求调剂
已经有4人回复
-
环境学硕288求调剂
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 一篇新的锂离子电池制作工艺有用的文献综述
已经有542人回复
- 如何得到某截面上温度在一规定区间范围的点占整个截面的比例？
已经有5人回复
- 上（下）转换离子的掺杂
已经有3人回复
- 湖泊中氨根离子，硝酸根离子，以及磷酸根离子的扩散系数是多少，谢谢各位！
已经有3人回复
- 半导体磁性掺杂
已经有3人回复
- 【求助】金属离子掺杂TiO2和金属氧化物复合光催化剂的区别
已经有19人回复
- 【求助】如何证明掺杂离子进入晶格
已经有8人回复
- 【讨论】关于锂离子的扩散系数
已经有11人回复
- 【求助】离子注入与电子辐射的区别
已经有7人回复
- 【求助】氯离子
已经有16人回复
- 离子液体的纯化
已经有8人回复
2楼2015-11-15 15:41:42
laojigesi
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2647.6
- 红花: 1
- 帖子: 379
- 在线: 199.2小时
- 虫号: 1641295
- 注册: 2012-02-25
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2017-12-05 22:11:47
10