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8627lyp木虫 (正式写手)
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单晶硅掺杂：离子注入、退火、热扩散的仿真软件 已有1人参与
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如题，做单晶硅掺杂：离子注入、退火（或者加一个热扩散）整个加工工艺的仿真软件有哪些？ 或者有什么算法可以计算、有什么参考书可以参考的，最后得到离子注入、退火（或者加一个热扩散）工艺后的掺杂浓度与深度的关系图。 我知道SRIM（或叫TRIM）可以算注入离子的能量和剂量，但仅算到这一步而已。 |
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2楼2015-11-15 15:41:42
laojigesi
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