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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 计算模拟 » 电镀工艺中哪些方面应用到COMSOL技术？？
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jealousboy

新虫 (小有名气)

[求助] 电镀工艺中哪些方面应用到COMSOL技术？？

rt,等待大仙
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无欲则刚
1楼 2011-08-18 23:13:48
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love685685

金虫 (正式写手)
构建了热壁CVD法生长α-SiC外延的气体流体力学模型,并通过COMSOL模拟软件计算对基座的几何形状进行设计.结果表明基座的几何形状改变,影响衬底表面的气流分布;基座有一定的倾斜角度,可以使其表面气流分布均匀,有利于得到高质量的α-SiC外延片.
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2楼2011-08-18 23:21:11
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