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【请教】请问COMSOL能模拟纳米硅模具上的图形热压到PMMA片子上的过程吗?
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snchenge8778
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【请教】请问COMSOL能模拟纳米硅模具上的图形热压到PMMA片子上的过程吗?
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2010-12-19 10:01:00
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snchenge8778(金币+2): 2010-12-19 19:43:46
通过模拟,楼主要得到什么信息?
纳米压印和宏观尺度的压印原理都一样,只不过尺度上压缩到了纳米量级~
纯技术,没有太复杂的理论。
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2楼
2010-12-19 19:24:52
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Originally posted by
dugu
at 2010-12-19 19:24:52:
通过模拟,楼主要得到什么信息?
纳米压印和宏观尺度的压印原理都一样,只不过尺度上压缩到了纳米量级~
纯技术,没有太复杂的理论。
填充性能和对压力的灵敏度应该有变化吧
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3楼
2010-12-19 19:44:27
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dugu
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引用回帖:
Originally posted by
snchenge8778
at 2010-12-19 19:44:27:
填充性能和对压力的灵敏度应该有变化吧
楼主对这个问题探究地很深呐
如果Si mold特征尺寸在50nm以下,在压印时有可能会出现部分填充的情况。大尺寸的一般都可以完美地复制互补的图形。
接触---挤压---形变----填充----冷却-----固化----脱离
原理简单
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4楼
2010-12-20 12:08:22
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