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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » Ar等离子体是否会腐蚀PMMA
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gl_zju

金虫 (小有名气)

[交流] Ar等离子体是否会腐蚀PMMA

氩气等离子体能否用来刻蚀PMMA吗？
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1楼 2011-08-10 14:14:05
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狗屁狗

铜虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by qfw_68 at 2011-08-13 15:04:53:
Ar是惰性气体，只有物理作用。

既然是等离子体,就存在化学作用.
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7楼2011-08-15 15:04:06
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)
★
gl_zju(金币+1):谢谢参与
gl_zju(金币+2): 2011-08-12 12:12:38
应该是可以的.
可能是热效应和化学效应共同的结果.
束流半径是多少,功率密度多大,是重要问题.
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2楼2011-08-11 12:35:18
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qfw_68

版主 (文坛精英)
★
gl_zju(金币+1):谢谢参与
gl_zju(金币+2): 2011-08-12 12:12:42
可以。是物理溅射作用。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-08-11 13:46:20
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
gl_zju(金币+1):谢谢参与
gl_zju(金币+2): 2011-08-12 12:12:46
好像可以的哦，祝福好运~~~
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-08-11 22:51:32
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