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basanwuyu

银虫 (小有名气)

[求助] 求助]关于退火与热应力及位错

向大家请教两个问题:
     1、晶体硅在生长完成后,退火时间越长,热应力释放会越多,那么这样的后果导致产生的位错会更多吗?为什么?
     2、另外,位错密度越大,能说明热应力就越大吗?
       请虫友们做个详细的解答,不甚感激!
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般木

铁杆木虫 (著名写手)

我是傻子

【答案】应助回帖

退火时间,退火温度很重要,控制不好就会产生相反的效果。退火一定程度上是可以减少一部分位错,层错。位错密度大不能说明热应力大,热应力是由于温度梯度分布不均匀造成的吧。并且位错产生原因很多,比较原料的干净与否,等径断线位错反延,收尾工艺,时间过短,很多原因。
天若有情天亦老,人间正道是沧桑。
2楼2011-11-03 21:47:25
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