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锋o希望新虫 (初入文坛)
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[求助]
请问：椭偏仪大概多少钱
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小弟最近在使用磁控溅射镀膜机镀膜，但是无法测量膜厚，现在准备使用椭偏法测膜厚，不知一般的椭偏仪（如TP77）大概多少钱？ 顺便问一下，大家在镀膜过程中都是如何控制膜厚的，或者怎么测膜厚的。 谢谢大神们！ |
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 椭偏测量 |
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海天天意
铁杆木虫 (正式写手)
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2楼2011-08-05 22:55:51
【答案】应助回帖
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金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:22:08
锋o希望(金币+5): 2011-09-03 21:51:05
金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:22:08
锋o希望(金币+5): 2011-09-03 21:51:05
| 看你是溅射什么膜了，椭偏仪测膜厚的水分挺大的！给你个参考仪器http://www.tjgd.com/pro2.aspx?id=239 如果需要的话，我给你联系他们内部工程师，价格会很优惠的！ |
3楼2011-08-06 10:44:16
4楼2011-08-10 09:38:52
5楼2012-03-27 14:26:03
mengyonghong
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椭偏仪种类比较多（可参考量拓科技的网站www.ellitop.com）价格从几万元到接近百万元， （1）大类分为：激光椭偏仪、光谱椭偏仪； （2）针对在线测量的有：大面积在线椭偏仪、镀膜机专用在线椭偏仪 （3）针对教学用的有：教学椭偏仪（这种一般用于原理演示，无法进行科研中有精度要求的测量）。 |
6楼2013-03-14 19:26:57
7楼2015-05-26 15:56:13
jssh985211
金虫 (正式写手)
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8楼2016-07-20 14:38:25
