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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问：椭偏仪大概多少钱
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锋o希望

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问：椭偏仪大概多少钱

小弟最近在使用磁控溅射镀膜机镀膜，但是无法测量膜厚，现在准备使用椭偏法测膜厚，不知一般的椭偏仪（如TP77）大概多少钱？
       顺便问一下，大家在镀膜过程中都是如何控制膜厚的，或者怎么测膜厚的。
       谢谢大神们！
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1楼 2011-08-01 17:13:52
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海天天意

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:22:02
锋o希望(金币+10): 2011-09-06 10:27:06
椭圆偏振仪，上海有一家在生产，主要销往国外，我们是他最早的客户，可以帮你联系！
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2楼2011-08-05 22:55:51
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kissyliu

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:22:08
锋o希望(金币+5): 2011-09-03 21:51:05
看你是溅射什么膜了，椭偏仪测膜厚的水分挺大的！给你个参考仪器http://www.tjgd.com/pro2.aspx?id=239  如果需要的话，我给你联系他们内部工程师，价格会很优惠的！
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3楼2011-08-06 10:44:16
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idiot891

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:22:12
十几万吧
我们最近也想买一台呢
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4楼2011-08-10 09:38:52
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uantel

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
832053楼: Originally posted by 锋o希望 at 2011-08-01 17:13:52:
小弟最近在使用磁控溅射镀膜机镀膜，但是无法测量膜厚，现在准备使用椭偏法测膜厚，不知一般的椭偏仪（如TP77）大概多少钱？
       顺便问一下，大家在镀膜过程中都是如何控制膜厚的，或者怎么测膜厚的。
     ...

可以到上海致东光电去测量，他们做光学测量18、9年的样子了，测的还不错，台湾测半导体起家的，我之前有和那里面的袁涛联系过，分机好像是205
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5楼2012-03-27 14:26:03
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mengyonghong

银虫 (小有名气)
椭偏仪种类比较多（可参考量拓科技的网站www.ellitop.com）价格从几万元到接近百万元，
（1）大类分为：激光椭偏仪、光谱椭偏仪；
（2）针对在线测量的有：大面积在线椭偏仪、镀膜机专用在线椭偏仪
（3）针对教学用的有：教学椭偏仪（这种一般用于原理演示，无法进行科研中有精度要求的测量）。
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6楼2013-03-14 19:26:57
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ying7157

新虫 (小有名气)
进口的椭偏仪要在四五十万，精度比较高些！
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7楼2015-05-26 15:56:13
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jssh985211

金虫 (正式写手)

理工小硕
引用回帖:
5楼: Originally posted by uantel at 2012-03-27 14:26:03
可以到上海致东光电去测量，他们做光学测量18、9年的样子了，测的还不错，台湾测半导体起家的，我之前有和那里面的袁涛联系过，分机好像是205...

你好！请问你有没有椭偏仪负责人联系电话？我想咨询下我的样品能不能测。谢谢啦！
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只要人好，运气就不会太差！
8楼2016-07-20 14:38:25
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