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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 为什么半导体材料 a-Si成膜，会量测它的折射率？
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冬雪儿

银虫 (小有名气)

[求助] 为什么半导体材料 a-Si成膜，会量测它的折射率？

在很多半导体材料成膜，或其它材料成膜，都会量测折射率！
折射率能反应材料的成膜特性吗？除了膜厚，还可以知道什么讯息？
哪位高人，能给指点一下！
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1楼 2011-07-17 22:19:07
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

冬雪儿(金币+3, 博学EPI+1): 虽然，答案不是很完整！但是仍然感谢答复！ 2011-08-01 09:51:03
引用回帖:
Originally posted by 冬雪儿 at 2011-07-18 11:17:23:
那再请教一下！对于TFT-LCD工艺， 量测n值的作用是什么？因为，它好像和光学没有关系。

个人看法：
即使与光学没关系，也凭经验可得知致密度，含氢量等与薄膜质量相关的信息。
高质量的TFT用非晶硅薄膜的折射率总有一定的范围吧，虽然折射率在这个范围的非晶硅不一定都能做出好的TFT，但折射率不在这个范围的非晶硅就不能做出好的TFT了。
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没有困难创造困难也要上网。
5楼2011-07-18 11:45:24
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

折射率与a-Si膜的含氢量、致密程度相关。一般随着含氢量的减少和致密度的提高，折射率增大。
在太阳能电池应用方面，需要知道a-Si的折射率，以由于光学匹配方面的计算，比如用来确定后续减反射膜的膜厚和折射率等。
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2楼2011-07-18 02:50:14
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
更正为：...以用于光学匹配方面的计算，...
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3楼2011-07-18 02:51:33
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冬雪儿

银虫 (小有名气)
那再请教一下！对于TFT-LCD工艺， 量测n值的作用是什么？因为，它好像和光学没有关系。
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4楼2011-07-18 11:17:23
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