24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2042  |  回复: 4
本帖产生 1 个 博学EPI ,点击这里进行查看
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

冬雪儿

银虫 (小有名气)

[求助] 为什么半导体材料 a-Si成膜,会量测它的折射率?

在很多半导体材料成膜,或其它材料成膜,都会量测折射率!
折射率能反应材料的成膜特性吗?除了膜厚,还可以知道什么讯息?
哪位高人,能给指点一下!

» 猜你喜欢

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

冬雪儿

银虫 (小有名气)

那再请教一下!对于TFT-LCD工艺, 量测n值的作用是什么?因为,它好像和光学没有关系。
4楼2011-07-18 11:17:23
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

折射率与a-Si膜的含氢量、致密程度相关。一般随着含氢量的减少和致密度的提高,折射率增大。
在太阳能电池应用方面,需要知道a-Si的折射率,以由于光学匹配方面的计算,比如用来确定后续减反射膜的膜厚和折射率等。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2011-07-18 02:50:14
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

更正为:...以用于光学匹配方面的计算,...
没有困难创造困难也要上网。
3楼2011-07-18 02:51:33
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

冬雪儿(金币+3, 博学EPI+1): 虽然,答案不是很完整!但是仍然感谢答复! 2011-08-01 09:51:03
引用回帖:
Originally posted by 冬雪儿 at 2011-07-18 11:17:23:
那再请教一下!对于TFT-LCD工艺, 量测n值的作用是什么?因为,它好像和光学没有关系。

个人看法:
即使与光学没关系,也凭经验可得知致密度,含氢量等与薄膜质量相关的信息。
高质量的TFT用非晶硅薄膜的折射率总有一定的范围吧,虽然折射率在这个范围的非晶硅不一定都能做出好的TFT,但折射率不在这个范围的非晶硅就不能做出好的TFT了。
没有困难创造困难也要上网。
5楼2011-07-18 11:45:24
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 211本科材料化工求调剂 +15 YHLAH 2026-04-11 16/800 2026-04-12 12:44 by BruceLiu320
[考研] 277求调剂 +21 倪建设 2026-04-06 21/1050 2026-04-12 12:27 by laoshidan
[考研] 一志愿安大生物学07初试322、本科二本、调剂求助 +5 李多米lee. 2026-04-12 6/300 2026-04-12 09:59 by 雪山飞狐7233
[考研] 求调剂,一志愿材料科学与工程985,365分, +8 材化李可 2026-04-11 10/500 2026-04-12 08:42 by 852137818
[考研] 化学工程调剂289 +44 yang婷 2026-04-07 50/2500 2026-04-12 02:36 by 秋豆菜芽
[考研] 288求调剂,一志愿华南理工大学071005 +18 ioodiiij 2026-04-08 18/900 2026-04-11 20:25 by liyun12321
[考研] 调剂求助 +6 果然有我 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:22 by 明月此时有
[考研] 求调剂,一志愿大连理工大学354分 +5 雨声余生 2026-04-11 6/300 2026-04-11 16:12 by 雨声余生
[考研] 材料与化工调剂 10+11 下一站上岸@ 2026-04-10 36/1800 2026-04-11 10:26 by 89436494
[考研] 农业管理302分求调剂 +3 xuening1 2026-04-10 3/150 2026-04-11 10:18 by zhq0425
[考研] 22408 327分求调剂 +4 韵风kon 2026-04-10 4/200 2026-04-11 09:51 by 猪会飞
[考研] 22408调剂求助 +7 毂12 2026-04-09 9/450 2026-04-11 09:23 by 哦哦123
[考研] 求调剂 材料与工程 324分 专硕 +19 翩翩一书生 2026-04-10 21/1050 2026-04-10 11:41 by wp06
[考研] 求调剂 +11 翩翩一书生 2026-04-09 13/650 2026-04-10 10:27 by liuhuiying09
[考研] 308求调剂 +21 倘若起风了呢 2026-04-05 21/1050 2026-04-10 08:13 by Sammy2
[考研] 一志愿武理车辆 281 求调剂 +5 上岸研究生. 2026-04-07 5/250 2026-04-09 15:56 by only周
[考研] 一志愿0807 数一英一 313 有没有二轮调剂 +11 emokidd 2026-04-08 12/600 2026-04-09 09:24 by wyf236
[考研] 353求调剂 +8 晴空万里air 2026-04-07 8/400 2026-04-09 00:18 by GouQ
[考研] 土木水利专硕276分求调剂 +6 我想上学!!6 2026-04-05 9/450 2026-04-08 17:45 by 宋小宝HQ
[考研] 325 调剂 +6 QQ小虾 2026-04-07 6/300 2026-04-07 15:17 by Ccclqqq
信息提示
请填处理意见