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为什么半导体材料 a-Si成膜，会量测它的折射率？
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在很多半导体材料成膜，或其它材料成膜，都会量测折射率！ 折射率能反应材料的成膜特性吗？除了膜厚，还可以知道什么讯息？ 哪位高人，能给指点一下！ |
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4楼2011-07-18 11:17:23
qfw_68
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2楼2011-07-18 02:50:14
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3楼2011-07-18 02:51:33
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5楼2011-07-18 11:45:24
