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为什么半导体材料 a-Si成膜,会量测它的折射率?
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在很多半导体材料成膜,或其它材料成膜,都会量测折射率! 折射率能反应材料的成膜特性吗?除了膜厚,还可以知道什么讯息? 哪位高人,能给指点一下! |
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4楼2011-07-18 11:17:23
qfw_68
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2楼2011-07-18 02:50:14
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3楼2011-07-18 02:51:33
qfw_68
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5楼2011-07-18 11:45:24










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