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brendax

金虫 (小有名气)

[求助] 镀银设备及方法求助

目标:我需要给Si衬底上的纳米ZnO镀不同厚度的银,厚度为十几纳米,二十几纳米和三十几纳米;

实验问题:曾经通过别的实验室尝试过 1.真空蒸镀银颗粒的方法---通过实验室经验控制膜厚,不太精确,凑合能用。但现在该设备房间在装修中,不能使用。我在上海某高校,大家知道江浙沪哪里有铜类型的镀银设备吗?
和2.磁控溅射的方法---长膜速度太快,9μm/min,不能用于镀十几纳米厚度的银:大家有相关降低成膜速度的经验吗?

或者3.有其他更好的镀银方法吗?

谢谢,因为情况紧急,希望有知道的同学可以告知我.

[ Last edited by brendax on 2011-7-5 at 21:48 ]
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄


yingli09(金币+1): 谢谢参与交流! 2011-07-06 09:43:43
真空热蒸镀是控制最好的了
6楼2011-07-06 08:24:31
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