[求助] 铁电薄膜开裂问题

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1楼2011-07-01 17:47:44

guxue

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-08-30 08:39:06

楼主做的同批膜，Na和K的条件相同，退火处理后NKT开裂。可能是由于Sol-Gel过程未控制好，造成膜的质量不同。这是由于K的水解速度更快，应通过调节pH值控制水解。或者你测试两种溶胶的粘度，分析原因。以上建议，仅供参考！

青出于蓝而胜于蓝

11楼2011-08-29 23:54:13

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pcsmine

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与，欢迎常来~ 2011-07-02 07:59:06

是不是温度过高？

2楼2011-07-01 18:16:38

plustb

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【答案】应助回帖

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shecf(金币+1): 2011-07-01 18:32:34
99zhu99(金币+1): sol-gel做的，不知是不是溶液的问题，想通条件下的BNT没有此情况 2011-07-08 14:33:54

溶胶凝胶还是物理溅射沉积？
推测是成膜质量有问题吧造成粘附力不好退火之后微裂纹扩大直接开裂

3楼2011-07-01 18:20:06

key2dream

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:51:11

最近不知道怎么搞的，液相法做的CuO薄膜也是总开裂，到现在也不知道开裂的原因。膜也不厚，几百个纳米，液相法做的，没有退火也没有高温，薄膜从溶液中取出来的时候非常好，一干了就全开裂剥落，衬底上什么也没留。

4楼2011-07-02 13:56:11