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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 洗硅片的过氧化氢H2O2废液大家是怎么处理的？
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wqnow

木虫 (正式写手)

[求助] 洗硅片的过氧化氢H2O2废液大家是怎么处理的？

RCA-1和RCA-2中都有H2O2，大家是怎么处理废液的？
一直煮到不冒泡泡？
加入硫酸铁？过量or怎么判断终点？
....
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1楼 2011-06-27 09:23:48
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-06-27 10:52:25
wqnow(金币+1): 那能说说你们的清洗流程吗，多谢！ 2011-06-28 08:51:05
引用回帖:
Originally posted by wqnow at 2011-06-27 09:23:48:
RCA-1和RCA-2中都有H2O2，大家是怎么处理废液的？
一直煮到不冒泡泡？
加入硫酸铁？过量or怎么判断终点？
....

洗硅片好像我一直没有用H2O2哦！
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2楼2011-06-27 10:23:38
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atlantic3982

金虫 (小有名气)
我是大量稀释后下水道。。。
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3楼2011-06-30 10:00:29
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wqnow

木虫 (正式写手)
我现在也是这么处理的，
“当前回帖不是应助回帖，您不能对此进行金币奖励哦 ”？？？
赞一下 回复此楼
4楼2011-06-30 11:20:36
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文虫wen

新虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2014-04-22 18:37:26
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