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ming198787

铜虫 (小有名气)

[求助] 关于电镜测试的问题

不是很理解为什么一般的Tem分辨率都要比Sem高‘
sem的原理应该是把电子束先聚焦成很小的斑然后去扫面样品,应该可以把电子聚得很小啊,而且其分辨率是直接由这个斑的大小决定的吧,怎么分辨率还是不高呢
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COXEM

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Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流! 2011-06-26 08:02:23
TEM观察分辨率依据瑞利判据可以和电子波长相关,波长越短分辨率越高。SEM分辨率和波长关系不大,证据很明显,顶级FE-SEM  0.1Kev能量电子束,获得分辨率,与普通W灯丝SEM,30Kev能量电子束分辨率相当,所以当很多人告诉你,扫描电镜分辨率随着加速电压提高而提高的原因是,加速电压越高,电子波长越短,分辨率越高,这个说法用在TEM上没错,用在SEM上等于胡说。扫描电镜分辨率根本限制因素图像的信噪比。
冒昧的在本站给个链接,来说明楼主的问题。
扫描电子显微镜之--分辨率限度的影响因素
http://coxem2010.blog.163.com/bl ... 757201052625545904/
3楼2011-06-25 22:13:05
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