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ming198787

铜虫 (小有名气)

[求助] 关于电镜测试的问题

不是很理解为什么一般的Tem分辨率都要比Sem高‘
sem的原理应该是把电子束先聚焦成很小的斑然后去扫面样品，应该可以把电子聚得很小啊，而且其分辨率是直接由这个斑的大小决定的吧，怎么分辨率还是不高呢
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1楼 2011-06-23 15:49:08
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tianq04

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流！ 2011-06-25 08:05:10
ming198787(金币+5): 2011-06-25 14:46:44
可能是这样：SEM依靠材料表面产生的二次电子、背反射电子等来成像，电子束照射在材料上会有一个梨形状的扩展区域，分辨率肯定要大于电子束的实际尺寸，通常几个nm就到了极限了。TEM成像原理与SEM完全不同，分辨率直接由电子的波长决定。
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2楼2011-06-24 22:12:25
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


★
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流！ 2011-06-26 08:02:23
TEM观察分辨率依据瑞利判据可以和电子波长相关，波长越短分辨率越高。SEM分辨率和波长关系不大，证据很明显，顶级FE-SEM  0.1Kev能量电子束，获得分辨率，与普通W灯丝SEM,30Kev能量电子束分辨率相当，所以当很多人告诉你，扫描电镜分辨率随着加速电压提高而提高的原因是，加速电压越高，电子波长越短，分辨率越高，这个说法用在TEM上没错，用在SEM上等于胡说。扫描电镜分辨率根本限制因素图像的信噪比。
冒昧的在本站给个链接，来说明楼主的问题。
扫描电子显微镜之--分辨率限度的影响因素
http://coxem2010.blog.163.com/bl ... 757201052625545904/
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3楼2011-06-25 22:13:05
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