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蒋咏

金虫 (正式写手)

[求助] 有关多晶硅掺料的资料及文献(西门子法和冶金法硅料)

各位专家:
   哪位有西门子法硅和冶金法硅掺料的外文和中文文献或是相关资料及见解,欢迎不吝赐教!十分感谢!

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ronggq

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

蒋咏(金币+10): 谢谢 不错的资料 2011-07-03 16:45:06
不知道这个对你有没有用<80种太阳能级硅单晶用料配方及制备CN200510027829.1>,是个专利,下载地址:
https://good.gd/1352786.htm
4楼2011-07-01 15:33:33
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zygtlp258

禁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

蒋咏(金币+2, 博学EPI+1): 首先谢谢您对此贴的关注 但是您答得是西门子法工艺生产多晶硅 与问题有些出入 谢谢您 2011-06-26 15:57:10
高纯石英(经高温焦碳还原)→工业硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(经过粗馏精馏)→高纯SiHCL3(和H2反应CVD工艺)→高纯多晶硅。需要用水的,很多。
学习的天地顶
2楼2011-06-24 10:12:58
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蒋咏

金虫 (正式写手)

送鲜花一朵
首先谢谢您对此贴的关注 但是您答得是西门子法工艺生产多晶硅 与问题有些出入 谢谢您
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3楼2011-06-26 15:56:19
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