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zygtlp258

禁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

蒋咏(金币+2, 博学EPI+1): 首先谢谢您对此贴的关注 但是您答得是西门子法工艺生产多晶硅 与问题有些出入 谢谢您 2011-06-26 15:57:10
高纯石英(经高温焦碳还原)→工业硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(经过粗馏精馏)→高纯SiHCL3(和H2反应CVD工艺)→高纯多晶硅。需要用水的,很多。
学习的天地顶
2楼2011-06-24 10:12:58
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