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[求助]
哪有对外进行光刻加工的?
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我想用光刻技术加工模板,最小精度为2微米,要求光刻胶厚度最好能达到10微米(甚至更厚),不需要套刻。不知道哪个公司或者研究所能加工啊?虫友们帮帮忙啊! |
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11楼2022-05-05 23:25:56

2楼2011-06-30 11:12:55

4楼2011-07-05 21:04:59
【答案】应助回帖
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楼主是说光刻还是做掩模板?我实验室可以做镀膜、光刻、刻蚀的全程工艺,光刻精度0.5微米都没问题的。光刻胶厚度为15~30微米的都有。不过厚度10微米或更厚的光刻胶是很难曝好精度为2微米的图形的,这一点要先知道。 联系电话:15108299816赵工 邮箱:zyy44138172@126.com |
5楼2011-07-06 23:41:20












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