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yujingschen

铁虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 58.3
散金: 4
红花: 1
帖子: 321
在线: 36.3小时
虫号: 1217641
注册: 2011-03-01
专业: 色谱分析

[求助] 请大家帮忙比较一下是W丝好还是LaB6的好？谢谢！

W丝好还是LaB6的好

我们实验室要买日本电子的JSM6510来做电子束曝光，但是厂家说W丝的要比LaB6要好，请大家帮忙比较一下是W丝好还是LaB6的好

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都建议资助，也没提不足，但未中，请大家帮忙分析一下，谢谢！已经有15人回复

1楼 2011-06-18 15:27:33

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123321wah

铜虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 66.9
帖子: 42
在线: 19.3小时
虫号: 1338161
注册: 2011-07-05
专业: 无机非金属类高温超导与磁

就电镜性能而言，个人觉得当然是LaB6要比W丝好得多。搭配电子束曝光系统的话，最好是场发射扫描电镜（热场），电子束流大一点有利于电子束光刻技术要求。我们实验室就有一台基于LaB6热场发射扫描电镜上改装的电子束曝光系统，从香港理化买后用的一直挺好的，希望我的个人建议对你的选择有帮助。

2楼2013-08-08 12:40:30

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