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weiyu558新虫 (小有名气)
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关于计算多晶硅薄膜晶粒大小的问题 已有1人参与
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之前只知道把XRD的半高宽度代入谢乐公式计算，但老师说这样计算薄膜的晶粒尺寸不准确，今天又发现陈光华等编著的《新型电子薄膜材料》上67也上的2-62公式是用拉曼计算晶粒尺寸的（见图片），不知道哪个计算更好 |
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2楼2011-06-23 21:20:42