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注册: 2007-04-15
专业: 冶金物理化学与冶金原理
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杂质 测量 氮化硅 粉末
哪位大侠推荐一下 测试方法:
测试的对象是氮化硅粉末中 B P 金属等杂质的含量!
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【请教】怎么测试等离子化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜内应力?
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1楼
2011-05-30 10:59:10
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wsq_7710
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性别: GG
专业: 金属基复合材料
【答案】应助回帖
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13500558820(金币+1): 鼓励wsq_7710 专家应助 2011-05-31 07:28:09
tianlove(金币+50): 2011-05-31 07:53:14
tianlove(金币+10): 2011-08-02 11:19:23
XPS可以,好多地方都提供测试的,你找一下
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2楼
2011-05-30 21:54:53
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