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关于PECVD沉积多晶硅薄膜
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weiyu558
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关于PECVD沉积多晶硅薄膜
小弟初涉PECVD沉积多晶硅薄膜方面的实验,想学习研究关于成核理论方面的东西,不知道该看什么样的书?还望各位大虾指教!
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2011-05-26 18:52:14
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