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juguangxu新虫 (初入文坛)
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对于TMIn如何从sccm换算成μmol/min
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MOCVD 在生长时,TMIn 原料的温度为15摄氏度,氮气作为载气, 在该温度是TMIn是固体, 若流量MFC设为4.1sccm, 问是多少μmol/min? 大侠可以将如何计算的过程给出,谢谢。 |
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