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juguangxu新虫 (初入文坛)
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对于TMIn如何从sccm换算成μmol/min
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MOCVD 在生长时，TMIn 原料的温度为15摄氏度，氮气作为载气， 在该温度是TMIn是固体， 若流量MFC设为4.1sccm， 问是多少μmol/min? 大侠可以将如何计算的过程给出，谢谢。 |
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