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shuixiang515

金虫 (正式写手)

[求助] 分子泵自动停转,是怎么回事?

求助,在磁控溅射过程中,听到咚的一声,分子泵自动停转,是怎么回事?谢谢你们!
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Atom He

新虫 (初入文坛)

我做PECVD的 也遇到了这种情况 警报大作吓死了
3楼2018-07-23 11:34:07
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pengruis

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


shuixiang515(金币+1): 2011-05-24 16:37:19
shuixiang515(金币+1): 2011-05-25 13:22:00
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-05-29 22:51:09
可能分子泵叶片碎了,建议拆开,确认下
2楼2011-05-24 14:43:19
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