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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 分子泵自动停转，是怎么回事？
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shuixiang515

金虫 (正式写手)

[求助] 分子泵自动停转，是怎么回事？

求助，在磁控溅射过程中，听到咚的一声，分子泵自动停转，是怎么回事？谢谢你们！
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1楼 2011-05-24 14:39:06
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Atom He

新虫 (初入文坛)
我做PECVD的 也遇到了这种情况 警报大作吓死了
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3楼2018-07-23 11:34:07
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pengruis

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
shuixiang515(金币+1): 2011-05-24 16:37:19
shuixiang515(金币+1): 2011-05-25 13:22:00
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-05-29 22:51:09
可能分子泵叶片碎了，建议拆开，确认下
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-05-24 14:43:19
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