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怎样对300nm YSZ 薄膜的成分进行定量分析？
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EBE法在石英玻璃上制得300nm厚的YSZ薄膜，想相对其中Y和Zr的含量做定量测量，用什么方法好？ 另：薄膜导电性差，钇的摩尔含量在10%左右。 |
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