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564516276新虫 (初入文坛)
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急求有关多铁薄膜测试问题解答
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1、想问一下有关底电极的问题 要测量多铁薄膜的电性质，是不是都要在原衬底和多铁膜中间加一层导电膜和在多铁膜上加导电膜或导电极呀？中间那层导电膜可否改加在基片下方?除了pt作为电极，是不是只要导电物质就可以？Cu等可行？这个电极是怎么加上去的呀？电镀？磁控溅射？or…… O(∩_∩)O谢谢 2、材料购买的问题 哪里有现成镀有底电极的衬底？大概在什么价位？有哪些种类？O(∩_∩)O谢谢 |
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shecf(金币+2): 谢谢应助~欢迎报名参加功能材料达人评选活动http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:46
564516276(金币+3): 解了燃眉之急，O(∩_∩)O谢谢 2011-06-02 19:57:18
shecf(金币+2): 谢谢应助~欢迎报名参加功能材料达人评选活动http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:46
564516276(金币+3): 解了燃眉之急，O(∩_∩)O谢谢 2011-06-02 19:57:18
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关于第一个问题： 要测多铁薄膜的电学性质，必须镀底电极（膜层）和顶电极（分散的小电极），以形成M-F-M电容器结构。基本步骤如下： a：在你所选用的基体上镀一层底电极，一般可用金属电极（Pt）或氧化物电极（如LSCO,LSMO,LNO,SRO）。 b：镀好底电极之后，镀膜。 c：镀顶电极，可以盖上掩模板后，直接磁控溅射就行。也可以旋涂光刻来做顶电极。顶电极一般用贵金属Pt或者Au。铜等金属易氧化，不稳定，会影响薄膜的测试结果。 关于第二个问题： 衬底或者叫基片的购买，百度一下有很多的。基片种类的选择得看你薄膜制备的目的，看相关论文，可以获得你所要的信息。 |
2楼2011-06-01 17:03:40
guody
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shecf(金币+2): 谢谢应助~欢迎报名参加功能材料达人评选活动http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:56
564516276(金币+2): O(∩_∩)O谢谢，拨开云雾见太阳 2011-06-02 19:58:15
shecf(金币+2): 谢谢应助~欢迎报名参加功能材料达人评选活动http://emuch.net/bbs/viewthread.php?tid=3254933&fpage=1 2011-06-01 20:51:56
564516276(金币+2): O(∩_∩)O谢谢，拨开云雾见太阳 2011-06-02 19:58:15
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测试磁性能，可以不需要电极 但是测试铁电性能就必须有上下电极了，否则测试结果很难反应真实性能 一般来说，底电极都会选择Pt，主要是稳定，而且和大多数氧化物材料晶格匹配较好。如果选择氧化物电极的话，首先你要保证氧化物电极的导电性能，而且由于存在界面问题，工艺就相对复杂，当然你如果想研究这个氧化物电极对多铁材料的性能来讲的话，可以考虑氧化物底电极。 虽然测试磁性能可以不需要电极，但是对于多铁薄膜来说，直接沉积在衬底上和中间加了过度层，取向等会发生变化，取向对其性能的影响就必须考虑清楚。 |
3楼2011-06-01 20:18:03
wiseroy
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