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calegan

银虫 (小有名气)

[求助] BSE & EBSD

想问下BSE & EBSD的区别？还是说他们本来就是一个东西……

拜请高手解释下……
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1楼 2011-05-17 18:24:48
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_Travis

新虫 (小有名气)
lz有做过bse或bsed的检测吗，请问它们的制样步骤是什么
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3楼2011-10-03 21:52:41
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人

【答案】应助回帖

calegan(金币+5): 非常感谢 2011-05-17 18:37:23
两者共同点都是背散射电子源，但是用途迥异。
区别在于：BSE在SEM里是背散射电子信号成形貌像；EBSD是利用背散射电子衍射出来的菊池花样进行晶体取向标定。
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每天一小步也有新高度
2楼2011-05-17 18:35:48
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calegan

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by _Travis at 2011-10-03 21:52:41:
lz有做过bse或bsed的检测吗，请问它们的制样步骤是什么

砂纸打磨，400，600，800，1200#打磨，最好每个砂纸打磨后用显微镜看一下，划痕是不是均匀（一般来说，划痕朝一个方向，深浅差不多，就符合标准了），然后用6微米和3微米的金刚石化合物，分别打磨，用显微镜检测，没有划痕为准，如果是BSE的话，已经可以了，如果是EBSD的话，需要接着用0.25微米的金刚石化合物打磨，最后用胶体SiO2介质打磨。

过程中要不断地变换方向，一般10-20 second，保证样品表明水平，EBSD对其要求很高。
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4楼2011-10-03 23:45:55
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_Travis

新虫 (小有名气)
谢谢你，需要腐蚀吗
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5楼2011-10-04 00:04:43
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