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calegan

银虫 (小有名气)

[求助] BSE & EBSD

想问下BSE & EBSD的区别?还是说他们本来就是一个东西……

拜请高手解释下……
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_Travis

新虫 (小有名气)

lz有做过bse或bsed的检测吗,请问它们的制样步骤是什么
3楼2011-10-03 21:52:41
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人

【答案】应助回帖

calegan(金币+5): 非常感谢 2011-05-17 18:37:23
两者共同点都是背散射电子源,但是用途迥异。
区别在于:BSE在SEM里是背散射电子信号成形貌像;EBSD是利用背散射电子衍射出来的菊池花样进行晶体取向标定。
每天一小步也有新高度
2楼2011-05-17 18:35:48
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calegan

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by _Travis at 2011-10-03 21:52:41:
lz有做过bse或bsed的检测吗,请问它们的制样步骤是什么

砂纸打磨,400,600,800,1200#打磨,最好每个砂纸打磨后用显微镜看一下,划痕是不是均匀(一般来说,划痕朝一个方向,深浅差不多,就符合标准了),然后用6微米和3微米的金刚石化合物,分别打磨,用显微镜检测,没有划痕为准,如果是BSE的话,已经可以了,如果是EBSD的话,需要接着用0.25微米的金刚石化合物打磨,最后用胶体SiO2介质打磨。

过程中要不断地变换方向,一般10-20 second,保证样品表明水平,EBSD对其要求很高。
4楼2011-10-03 23:45:55
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_Travis

新虫 (小有名气)

谢谢你,需要腐蚀吗
5楼2011-10-04 00:04:43
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