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jcwang

金虫 (小有名气)

[交流] 谁推荐几本关于光刻技术的书

最近才接触光刻，想找几本关于这方面的专业的书看一下，但是找了很久也没有找到，希望大家可以推荐几本。
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1楼2011-05-15 17:36:10
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ljason

新虫 (文学泰斗)
★ ★
jcwang(金币+1):谢谢参与
mlnjut(金币+1): 欢迎交流~~ 2011-05-15 18:36:27
1.  纳米CMOS电路和物理设计 Nano-CMOS circuit and physical design (美)BAN P.WONG，ANURAG MITTAL，YU CAO等著 辛维平等译
  BAN P.WONG 著

2.  电子与信息化学助剂生产与应用技术 韩长日, 宋小平主编
  韩长日 主编

3.  集成电路工艺中的化学品 戴猷元, 张瑾编
  戴猷元 编

4.  微细加工技术 刘明, 谢常青, 王丛舜等编著
  刘明 编著

5  气相光刻技术 胡阶平等著
  胡阶平 著
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2楼2011-05-15 17:48:08
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zhu-hongwen

至尊木虫 (知名作家)
★ ★
jcwang(金币+1):谢谢参与
ljason(金币+1): :rol: 2011-07-26 08:59:14
关注学习
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3楼2011-07-26 00:32:53
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