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谁推荐几本关于光刻技术的书
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| 最近才接触光刻，想找几本关于这方面的专业的书看一下，但是找了很久也没有找到，希望大家可以推荐几本。 |
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 光刻胶 |
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jcwang(金币+1):谢谢参与
mlnjut(金币+1): 欢迎交流~~ 2011-05-15 18:36:27
jcwang(金币+1):谢谢参与
mlnjut(金币+1): 欢迎交流~~ 2011-05-15 18:36:27
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1. 纳米CMOS电路和物理设计 Nano-CMOS circuit and physical design (美)BAN P.WONG，ANURAG MITTAL，YU CAO等著 辛维平等译 BAN P.WONG 著 2. 电子与信息化学助剂生产与应用技术 韩长日, 宋小平主编 韩长日 主编 3. 集成电路工艺中的化学品 戴猷元, 张瑾编 戴猷元 编 4. 微细加工技术 刘明, 谢常青, 王丛舜等编著 刘明 编著 5 气相光刻技术 胡阶平等著 胡阶平 著 |
2楼2011-05-15 17:48:08
3楼2011-07-26 00:32:53