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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » PCVD法制备TiCN
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[交流] PCVD法制备TiCN

我在钢基体上采用PCVD法制备TiCN薄膜，但是试验结果很不理想。基体表面很难成膜。我已做了正交试验，但是没有得到想要东西。同行的高手帮我分析一下。
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1楼2011-05-15 11:20:20
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robin_xmu

金虫 (小有名气)
★
liaofang20(金币+1):谢谢参与
靶材TiC?具体实验参数不便透露下？那其他人很难帮忙分析诶
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3楼2011-07-31 12:46:29
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