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抛光清洗
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zhyu101202
木虫
(小有名气)
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注册: 2008-05-25
性别: GG
专业: 半导体材料
[交流]
抛光清洗
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最近在抛光五寸硅片时老是一次洗不干净,不知道是什么原因!表面颗粒也无法表征
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1楼
2011-05-11 22:11:59
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stao4312
木虫
(著名写手)
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(幼儿园)
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在线: 273小时
虫号: 628564
注册: 2008-10-17
性别: GG
专业: 无机合成和制备化学
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
你用的什么东西抛的,个人觉得是抛液的问题吧
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5楼
2011-11-06 10:12:36
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lupenghua
银虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
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帖子: 36
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专业: 化学反应工程
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小木虫(金币
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):给个红包,谢谢回帖
wanggch123(金币+1): 鼓励回帖交流 2011-05-26 20:59:25
表面处理抛光这一块看来现在还是做的很不到位,铜的表面抛光也是这样,有发黑的
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2楼
2011-05-26 20:40:25
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tyhjqxbz
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小木虫(金币
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mjlyxm(金币+2): 感谢认真交流~~O(∩_∩)O~ 2012-02-16 00:05:49
首先,确定是 玷污物 还是 表面损伤,再从清洗、设备或者工艺入手。
抛浆结晶的话会是白的,我曾经试过,可以用刀片什么的刮一下,如果刮的掉就应该没错了,否则就不一定了,也许是前面的腐蚀或者清洗过程产生的问题!刮的掉不是说可以完全刮掉,而是可以刮点粉末状东西下来
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只为成功找方法,不为失败找借口——欢迎常到注册执考区
4楼
2011-11-05 13:48:51
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mikexie
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专业: 制造系统与自动化
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):给个红包,谢谢回帖
mjlyxm(金币+1): 鼓励新虫参与交流,奖励一下,欢迎常来工艺技术版~~O(∩_∩)O~ 2012-02-16 00:06:03
不小心就会中招!好多抛光膏在高温时都会与零件表面起化学反应,影响美观!
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看开世事,自得其乐!
6楼
2012-02-15 21:33:28
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