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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 生产管理 » 抛光清洗
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zhyu101202

木虫 (小有名气)

[交流] 抛光清洗 已有5人参与

最近在抛光五寸硅片时老是一次洗不干净，不知道是什么原因！表面颗粒也无法表征
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1楼 2011-05-11 22:11:59
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tyhjqxbz

主管区长 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主优秀区长优秀版主优秀版主优秀版主
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
mjlyxm(金币+2): 感谢认真交流~~O(∩_∩)O~ 2012-02-16 00:05:49
首先，确定是 玷污物 还是 表面损伤，再从清洗、设备或者工艺入手。

抛浆结晶的话会是白的，我曾经试过，可以用刀片什么的刮一下，如果刮的掉就应该没错了，否则就不一定了，也许是前面的腐蚀或者清洗过程产生的问题！刮的掉不是说可以完全刮掉，而是可以刮点粉末状东西下来
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只为成功找方法，不为失败找借口——欢迎常到注册执考区
4楼2011-11-05 13:48:51
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lupenghua

银虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
wanggch123(金币+1): 鼓励回帖交流 2011-05-26 20:59:25
表面处理抛光这一块看来现在还是做的很不到位，铜的表面抛光也是这样，有发黑的
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2楼2011-05-26 20:40:25
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stao4312

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
你用的什么东西抛的，个人觉得是抛液的问题吧
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5楼2011-11-06 10:12:36
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mikexie

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
mjlyxm(金币+1): 鼓励新虫参与交流，奖励一下，欢迎常来工艺技术版~~O(∩_∩)O~ 2012-02-16 00:06:03
不小心就会中招！好多抛光膏在高温时都会与零件表面起化学反应，影响美观！
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看开世事，自得其乐！
6楼2012-02-15 21:33:28
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