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auguest973木虫 (小有名气)
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真空泵的串联问题
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请问 我现在想设计一个真空度能达到10-2Pa的真空系统，可不可以采用两个极限真空度为10-2Pa的真空泵串联得到，我的真空室密封性较好，泵都是新的，因此单泵就可以抽到1Pa-0.9Pa间。 因为看到有文献报道真空泵串联可提高其极限真空度。 谢谢了各位 急需上述资料 如果这样可以实现就不需要购买比较贵的扩散泵或分子泵了，毕竟也不是需要特别高的真空！ |
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canko75591
木虫 (著名写手)
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11楼2011-08-20 11:11:47