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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] 激光沉积Pt时,打出来的灰黑的东西 已有5人参与

不像是亮晶晶的Pt,是靶材有问题?但计算密度没错啊,求赐教,
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善良
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by antill at 2011-05-10 22:15:47:
PLD做金属沉积的效果听说不是很好,Pt导热太好,沉积速率慢,产额低,可能在沉积过程中就被氧化啊!

谢谢,有道理,
善良
8楼2011-05-10 22:38:18
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
做个XRD看看,有没有Pt的峰位出现,如果出现的话那就是说明上面有,出现黑色的会不会是其他的东西,或者pt的氧化物之类的
学会选择,懂得放弃,有信心不一定会赢,没信心一定会输
2楼2011-05-10 15:37:24
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by zhaohaixing at 2011-05-10 15:37:24:
做个XRD看看,有没有Pt的峰位出现,如果出现的话那就是说明上面有,出现黑色的会不会是其他的东西,或者pt的氧化物之类的

恩。是在超高真空条件,常温,应该不容易氧化吧?
善良
3楼2011-05-10 15:39:02
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ppcar

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-05-10 09:56:26:
不像是亮晶晶的Pt,是靶材有问题?但计算密度没错啊,求赐教,

PLD好像会出现这种问题,表面太粗糙了
这个是PLD的缺陷。
Pt的话用e-beam evaporator 或者supttering都可以
4楼2011-05-10 21:27:12
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