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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 激光沉积Pt时，打出来的灰黑的东西
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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[交流] 激光沉积Pt时，打出来的灰黑的东西 已有5人参与

不像是亮晶晶的Pt，是靶材有问题？但计算密度没错啊，求赐教，
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善良
1楼 2011-05-10 14:56:26
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antill

银虫 (正式写手)
★
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PLD做金属沉积的效果听说不是很好，Pt导热太好，沉积速率慢，产额低，可能在沉积过程中就被氧化啊！
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潜心钻研！
6楼2011-05-10 22:15:47
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心
★
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做个XRD看看，有没有Pt的峰位出现，如果出现的话那就是说明上面有，出现黑色的会不会是其他的东西，或者pt的氧化物之类的
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学会选择，懂得放弃，有信心不一定会赢，没信心一定会输
2楼2011-05-10 15:37:24
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by zhaohaixing at 2011-05-10 15:37:24:
做个XRD看看，有没有Pt的峰位出现，如果出现的话那就是说明上面有，出现黑色的会不会是其他的东西，或者pt的氧化物之类的

恩。是在超高真空条件，常温，应该不容易氧化吧？
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善良
3楼2011-05-10 15:39:02
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ppcar

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-05-10 09:56:26:
不像是亮晶晶的Pt，是靶材有问题？但计算密度没错啊，求赐教，

PLD好像会出现这种问题，表面太粗糙了
这个是PLD的缺陷。
Pt的话用e-beam evaporator 或者supttering都可以
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4楼2011-05-10 21:27:12
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