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请教:晶体硅B扩散工艺中BN烧源
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注册: 2008-11-28
性别:
MM
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
[
求助
]
请教:晶体硅B扩散工艺中BN烧源
按照文献参数:1050℃,30min,通氧量600sccm,
结果粉末状BN还是粉末,未能烧结成所谓的透明固体。不知道问题出在哪,请求高手指点迷津
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