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okpb

木虫 (正式写手)

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[交流] 关于金属块体的TEM制样

用砂纸机械研磨到约120~150μm厚后需不需要抛光一下才去冲3mm圆片？ths!

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1楼 2011-05-06 15:00:09

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=3080472&authorid=190601

先用线切割切到最薄，看师傅的功力，有的师傅可以切到0.8mm厚，甚至更薄；
薄薄片样品面积不要过大，截成1cm见方差不多；然后进行磨制，遵照砂纸先粗后细的规范，小心磨制，对于软金属要更加细心，不要用粗砂纸；
此时的道具是橡胶套指，或还有橡皮瓶盖！
根据你的磨制进度不时地用千分尺-螺旋测微器测量厚度；
随着样片变薄你会发现一个严重的问题，整个样品面积上厚薄不一，尤其中心区与四周，这是不可避免的！不要急躁！
若样品平均后都达到100微米左右时，用直径3毫米冲压器冲出一个个小样品。
有两个目的，其一，减小面积方便磨出厚度一致的膜片；其二，若更薄时才冲的话容易起卷。
这时就用橡胶瓶盖压住小圆片细细磨制，当然是用细砂纸。最终厚度50~70微米时就差不多了，你就可以准备双喷去了。
若考虑用离子束减薄，磨制厚度也可以在这个厚度，当然厚度薄会减少减薄时间，无疑可以更经济，但是磨制太薄也有风险，容易磨破。