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benxiaohaimo

金虫 (小有名气)

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[求助] 关于场发射不能清晰的拍摄样品

我想请问下，我的样品表面由有机物的存在，在拍摄场发射的时候，不能清晰的看到样品的具体相貌，而只能看到外面包覆着一圈东西，这个应该是有机物，谁能给我解释下这个原理是什么吗？

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开心每一天

1楼2011-05-05 17:27:44

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jluxiaoxi

木虫 (正式写手)

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专业: 半导体电子器件

【答案】应助回帖

★
benxiaohaimo(金币+10): 谢谢了啊 2011-05-13 11:26:06
zhaohaixing(金币+1): 鼓励交流~ 2011-05-13 16:25:23

引用回帖:

Originally posted by xixizhang3096 at 2011-05-10 11:32:07:
有机物对电子也是有折射散射等效应的

这个解释有点问题啊。SEM的原理是电子打在材料表面会发射二次电子，当然还有别的粒子，大部分SEM都用二次电子像。而表面凹凸起伏不同会使得入射的电子打的深度不同，激发的二次电子数目也不同，被激发的二次电子能够脱离表面的也不同，这样通过收集二次电子的强度就可以反馈出材料表面的形貌了。
一般材料导电性不好，从而使得激发的信号较弱，这样就看不清楚。表面喷薄薄的一层金，增强了导电性但不会改变样品本来的形貌特征。这样收集到的信号强度就大了。图像也就清晰了。（本解释还是有一些不全面，是自己的理解，要跟权威的和地道的学术语言可以看材料表征分析的相关书籍）

通常有机物的表面比较光滑，且导电性也不好，使得得到的图像不能真实反映材料本身的形貌还很模糊。