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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 【求助】TEM自带能谱EDS
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auguest973

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】TEM自带能谱EDS已有3人参与

TEM自带能谱EDS 最小能打多少范围的成分？谢谢各位了
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何以解忧，唯有稀粥
1楼2011-04-16 19:50:19
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by guolianshun at 2011-05-04 16:20:17:
30nm以下都可以搞定？

这个基本上很难！就算可以也是估摸着。
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每天一小步也有新高度
5楼2011-05-04 17:27:40
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
imrsfb(金币+1): 谢谢交流！ 2011-04-17 16:34:58
无论SEM，还是TEM都是电子束，对于场发射SEM与TEM，其束斑大小都差不远，所以打能谱的粒子尺度在相近数量级，分辨率很难低于20nm。Oxford-EDS优化参数可以达到30nm。
赞一下(2人) 回复此楼
每天一小步也有新高度
2楼2011-04-16 23:13:28
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guolianshun

金虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
Originally posted by comma at 2011-04-16 23:13:28:
无论SEM，还是TEM都是电子束，对于场发射SEM与TEM，其束斑大小都差不远，所以打能谱的粒子尺度在相近数量级，分辨率很难低于20nm。Oxford-EDS优化参数可以达到30nm。

30nm以下都可以搞定？
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4楼2011-05-04 16:20:17
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zlwxmc

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
如果设备好的话，30纳米是有可能的，比如JEM2000、2010等，但是小于30nm的就很不准确了！
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大家好才是真的好。。。
6楼2011-05-11 21:01:41
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