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auguest973

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】TEM自带能谱EDS 已有3人参与

TEM自带能谱EDS 最小能打多少范围的成分?谢谢各位了
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何以解忧,唯有稀粥
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guolianshun

金虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by comma at 2011-04-16 23:13:28:
无论SEM,还是TEM都是电子束,对于场发射SEM与TEM,其束斑大小都差不远,所以打能谱的粒子尺度在相近数量级,分辨率很难低于20nm。Oxford-EDS优化参数可以达到30nm。

30nm以下都可以搞定?
4楼2011-05-04 16:20:17
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