24小时热门版块排行榜    

查看: 1310  |  回复: 7

chanown

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】xrd能否测多晶硅片中碳含量 已有5人参与

xrd能否测多晶硅片中碳含量?硅片扩硼采用硼酸三甲酯,反应会产生C ,想测试会不会有大量的碳会覆盖在硅片上,谢谢!!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangdongyan

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
不行吧。XRD只是测形貌啊
2楼2011-04-17 22:26:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
XRD测量的是结晶材料的结晶状况,晶粒方向。
XPS可以分析材料中的碳含量。
形貌是SEM, AFM的测量的
3楼2011-04-18 04:26:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鹰羽龙

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by chanown at 2011-04-16 19:36:40:
xrd能否测多晶硅片中碳含量?硅片扩硼采用硼酸三甲酯,反应会产生C ,想测试会不会有大量的碳会覆盖在硅片上,谢谢!!!

用XPS可以测表面信息,但是XPS的碳污染问题需要考虑,即使没有碳的样品放在空气中一会也会吸附很多碳
4楼2011-04-18 14:29:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

M100421

木虫 (正式写手)

不可以 理由同上
5楼2011-04-18 14:54:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

M100421

木虫 (正式写手)

可以做能谱
6楼2011-04-18 14:54:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chanown

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by M100421 at 2011-04-18 14:54:39:
可以做能谱

能谱的轻原子貌似测不出来
7楼2011-04-18 16:55:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
我个人认为可以用二次离子质谱来测。先测一个没有做硼扩散的多晶硅片的碳,然后硼扩散后再做一次,两个结果的差应该就是你要的结果。
是金子总会发光!!!
8楼2011-04-19 00:11:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chanown 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 265分求调剂不调专业和学校有行学上就 +6 礼堂丁真258 2026-02-28 8/400 2026-03-01 22:50 by jian_
[考研] 275求调剂 +3 明远求学 2026-03-01 3/150 2026-03-01 22:29 by 刘兵
[考研] 0856材料与化工,270求调剂 +5 YXCT 2026-03-01 5/250 2026-03-01 21:54 by 公瑾逍遥
[考研] 26考研报考西工大材料308分求调剂 +3 weizhong123 2026-03-01 3/150 2026-03-01 21:42 by 公瑾逍遥
[考研] 272求调剂 +6 田智友 2026-02-28 6/300 2026-03-01 21:40 by 公瑾逍遥
[考研] 274求调剂 +3 cgyzqwn 2026-03-01 6/300 2026-03-01 21:24 by cgyzqwn
[考研] 材料学硕318求调剂 +9 February_Feb 2026-03-01 11/550 2026-03-01 19:47 by 无懈可击111
[考研] 0857调剂 +3 一ll半 2026-02-28 3/150 2026-03-01 18:32 by 热情沙漠
[考博] 26申博 +4 想申博! 2026-02-26 6/300 2026-03-01 17:32 by 想申博!
[考研] 化工专硕342,一志愿大连理工大学,求调剂 +3 kyf化工 2026-02-28 4/200 2026-03-01 16:49 by yywzz
[考研] 285求调剂 +8 满头大汗的学生 2026-02-28 8/400 2026-03-01 16:47 by caszguilin
[考研] 313求调剂 +3 水流年lc 2026-02-28 3/150 2026-03-01 16:01 by 新能源达人
[考研] 311求调剂 +6 亭亭亭01 2026-03-01 6/300 2026-03-01 15:41 by 324616
[考研] 课题组接收材料类调剂研究生 +3 gaoxiaoniuma 2026-02-28 4/200 2026-03-01 14:30 by jjj三跨
[考研] 调剂 +3 简木ChuFront 2026-02-28 3/150 2026-03-01 11:46 by 王伟要上岸啊
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +6 Soliloquy_Q 2026-02-28 11/550 2026-03-01 11:14 by 歌liekkas
[论文投稿] Optics letters投稿被拒求助 30+3 luckyry 2026-02-26 4/200 2026-03-01 09:06 by babero
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
[考研] 264求调剂 +3 巴拉巴拉根556 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:31 by gaoxiaoniuma
[考研] 085600材料工程一志愿中科大总分312求调剂 +8 吃宵夜1 2026-02-28 10/500 2026-02-28 20:27 by L135790
信息提示
请填处理意见