24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 1387  |  回复: 7

chanown

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】xrd能否测多晶硅片中碳含量 已有5人参与

xrd能否测多晶硅片中碳含量?硅片扩硼采用硼酸三甲酯,反应会产生C ,想测试会不会有大量的碳会覆盖在硅片上,谢谢!!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangdongyan

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
不行吧。XRD只是测形貌啊
2楼2011-04-17 22:26:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
XRD测量的是结晶材料的结晶状况,晶粒方向。
XPS可以分析材料中的碳含量。
形貌是SEM, AFM的测量的
3楼2011-04-18 04:26:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鹰羽龙

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by chanown at 2011-04-16 19:36:40:
xrd能否测多晶硅片中碳含量?硅片扩硼采用硼酸三甲酯,反应会产生C ,想测试会不会有大量的碳会覆盖在硅片上,谢谢!!!

用XPS可以测表面信息,但是XPS的碳污染问题需要考虑,即使没有碳的样品放在空气中一会也会吸附很多碳
4楼2011-04-18 14:29:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

M100421

木虫 (正式写手)

不可以 理由同上
5楼2011-04-18 14:54:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

M100421

木虫 (正式写手)

可以做能谱
6楼2011-04-18 14:54:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chanown

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by M100421 at 2011-04-18 14:54:39:
可以做能谱

能谱的轻原子貌似测不出来
7楼2011-04-18 16:55:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
我个人认为可以用二次离子质谱来测。先测一个没有做硼扩散的多晶硅片的碳,然后硼扩散后再做一次,两个结果的差应该就是你要的结果。
是金子总会发光!!!
8楼2011-04-19 00:11:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chanown 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600材料与化工349分求调剂 +14 李木子啊哈哈 2026-04-12 15/750 2026-04-14 00:14 by Equinoxhua
[考研] 310求调剂 +15 666真好 2026-04-11 17/850 2026-04-13 22:27 by pies112
[考研] 284求调剂 +16 让我上岸吧阿西 2026-04-09 16/800 2026-04-13 22:18 by pies112
[考研] 求调剂 +11 何气正 2026-04-13 12/600 2026-04-13 20:14 by 学员JpLReM
[考研] 085408光电信息工程专硕355一志愿长春光机所调剂 +3 王ymaa 2026-04-13 3/150 2026-04-13 11:01 by zhshch
[考研] 322求调剂,08工科 +4 今天是个小号 2026-04-08 4/200 2026-04-13 00:20 by baobaoye
[考研] 316求调剂 +5 想读研究生( ?∵ 2026-04-07 5/250 2026-04-12 00:43 by 蓝云思雨
[考研] 材料工程日语考生求调剂 +7 0856?调剂 2026-04-10 7/350 2026-04-11 21:33 by 蓝云思雨
[考研] 298求调剂 +5 残荷新柳 2026-04-07 5/250 2026-04-11 11:02 by 紫曦紫棋
[考研] 085500求调剂材料 +10 易11122 2026-04-09 10/500 2026-04-11 10:39 by maddjdld
[考研] 282,求调剂 +12 jggshjkkm 2026-04-09 14/700 2026-04-11 09:39 by 猪会飞
[考研] 263能源动力专硕求调剂 +4 加大号饭盒袋 2026-04-10 4/200 2026-04-10 20:52 by gong120082
[考研] 计算机类求调剂,22408-274分 +7 上岸de小虫 2026-04-09 8/400 2026-04-10 19:56 by fxue1114
[考研] 293调剂 +25 yj1221 2026-04-08 26/1300 2026-04-10 15:02 by 柴小白
[考研] 材料化工总分334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 20:19 by maddjdld
[考研] 367求调剂 +10 hffQAQ 2026-04-09 10/500 2026-04-09 18:06 by lijunpoly
[考研] 085501机械英二77总分294求调剂,接受跨专业学习 +6 守法公民亓纪 2026-04-08 6/300 2026-04-09 15:55 by wp06
[考研] 化学工程与技术专业一志愿哈工程 291分B区 国家级大创负责人 有一作论文 +13 Emmy~ 2026-04-09 13/650 2026-04-09 14:47 by only周
[考研] 287求调剂 +6 Fnhc 2026-04-07 6/300 2026-04-08 10:05 by xingguangj
[考研] 机械调剂 +3 zzzbcb 2026-04-07 3/150 2026-04-07 22:19 by hemengdong
信息提示
请填处理意见