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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】xrd能否测多晶硅片中碳含量
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chanown

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】xrd能否测多晶硅片中碳含量 已有5人参与

xrd能否测多晶硅片中碳含量？硅片扩硼采用硼酸三甲酯，反应会产生C ，想测试会不会有大量的碳会覆盖在硅片上，谢谢!!!
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1楼 2011-04-16 19:36:40
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yangdongyan

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
不行吧。XRD只是测形貌啊
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2楼2011-04-17 22:26:01
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
XRD测量的是结晶材料的结晶状况，晶粒方向。
XPS可以分析材料中的碳含量。
形貌是SEM， AFM的测量的
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3楼2011-04-18 04:26:17
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by chanown at 2011-04-16 19:36:40:
xrd能否测多晶硅片中碳含量？硅片扩硼采用硼酸三甲酯，反应会产生C ，想测试会不会有大量的碳会覆盖在硅片上，谢谢!!!

用XPS可以测表面信息，但是XPS的碳污染问题需要考虑，即使没有碳的样品放在空气中一会也会吸附很多碳
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4楼2011-04-18 14:29:12
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M100421

木虫 (正式写手)
不可以 理由同上
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5楼2011-04-18 14:54:07
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M100421

木虫 (正式写手)
可以做能谱
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6楼2011-04-18 14:54:39
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chanown

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by M100421 at 2011-04-18 14:54:39:
可以做能谱

能谱的轻原子貌似测不出来
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7楼2011-04-18 16:55:54
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
我个人认为可以用二次离子质谱来测。先测一个没有做硼扩散的多晶硅片的碳，然后硼扩散后再做一次，两个结果的差应该就是你要的结果。
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是金子总会发光！！！
8楼2011-04-19 00:11:41
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