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jinzelvzju

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[交流] 【求助】配气浓度不稳定是什么原因? 已有4人参与

我在配环己酮气体,质量流量控制器控制各支路流量,已经稳定了两天,但配出的浓度上下波动很大,不知是什么原因?
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天行健
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jinzelvzju

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引用回帖:
Originally posted by liping22 at 2011-04-15 09:25:57:
先标定一下质量流量计各支路,然后根据标定的流量配气。

我的问题是按照固定的流量配气,稳定两天了,在线进样得到的峰面积还是波动的厉害,不是浓度不准,是不稳
天行健
5楼2011-04-15 09:45:01
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xiaojindou

金虫 (小有名气)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
在质量流量计后面要加上一个预混器,才能使所配气体混合均匀
2楼2011-04-15 09:18:03
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liping22

木虫 (小有名气)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
先标定一下质量流量计各支路,然后根据标定的流量配气。
3楼2011-04-15 09:25:57
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jinzelvzju

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引用回帖:
Originally posted by xiaojindou at 2011-04-15 09:18:03:
在质量流量计后面要加上一个预混器,才能使所配气体混合均匀

我有两个混合室,之前甲苯是很稳的
天行健
4楼2011-04-15 09:41:31
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