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侬侬紫雨

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】Autlab工作站做脉冲沉积 已有3人参与

我之前一直用Autolab的恒流法做沉积,但是镀层晶粒太大,现在想换做脉冲法,可是不知道参数怎么设置?方波还是恒流里设置成两步呢?参数设置时有什么需要注意的吗?请各位大侠帮忙指导下。
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工人特

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
用计时电位就好了,可以设置几个电流,时间参数、电流值以及圈数需要根据自己的体系确定
3楼2011-04-13 21:37:58
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侬侬紫雨

新虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 侬侬紫雨 at 2011-04-12 16:09:16:
我之前一直用Autolab的恒流法做沉积,但是镀层晶粒太大,现在想换做脉冲法,可是不知道参数怎么设置?方波还是恒流里设置成两步呢?参数设置时有什么需要注意的吗?请各位大侠帮忙指导下。

没有人吗 自己顶一下嘿嘿
2楼2011-04-12 20:14:18
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glacier132

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
方法很多啊,无论是用nova还是GPEs软件,都可以实现很多种波形的组合的,实现脉冲电流电位组合,同时结合电位梯度组合均可,这些其实通过NOVA软件都很容易实现的了,呵呵
4楼2011-04-14 20:06:34
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