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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 实验技术 » 【求助】实验室如何处理氟化氢和氟化钨尾气？
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relonfbq

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】实验室如何处理氟化氢和氟化钨尾气？

如题？想化学气相沉积钨，不知道如何处理这些尾气，处理的标准和细则是什么，在哪儿可以查到，最后怎么处理，有什么设备？在哪儿可以买到？
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1楼 2011-04-06 10:00:18
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cs123292

铁杆木虫 (职业作家)
★
relonfbq(金币+1):谢谢参与
relonfbq(金币+1): 2011-04-26 14:01:42
用氯化物做前驱体，不用氟化物。冷阱吸收！
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3楼2011-04-07 12:31:56
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