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【求助】实验室如何处理氟化氢和氟化钨尾气?
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relonfbq
金虫
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虫号: 744333
[交流]
【求助】实验室如何处理氟化氢和氟化钨尾气?
如题?想化学气相沉积钨,不知道如何处理这些尾气,处理的标准和细则是什么,在哪儿可以查到,最后怎么处理,有什么设备?在哪儿可以买到?
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1楼
2011-04-06 10:00:18
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xtj239
木虫
(著名写手)
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relonfbq(金币+1): 2011-04-26 14:01:36
可以用氯化钙出去氟化氢
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2楼
2011-04-07 11:50:46
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cs123292
铁杆木虫
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relonfbq(金币
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):谢谢参与
relonfbq(金币+1): 2011-04-26 14:01:42
用氯化物做前驱体,不用氟化物。冷阱吸收!
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3楼
2011-04-07 12:31:56
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550191616
4楼
2011-04-07 12:50
relonfbq(金币
+1
):谢谢参与
tangbohejin
5楼
2011-04-07 18:06
relonfbq(金币
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):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by
xtj239
at 2011-04-07 11:50:46: 可以用氯化钙出去氟化氢
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