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relonfbq

金虫 (正式写手)


[交流] 【求助】实验室如何处理氟化氢和氟化钨尾气?

如题?想化学气相沉积钨,不知道如何处理这些尾气,处理的标准和细则是什么,在哪儿可以查到,最后怎么处理,有什么设备?在哪儿可以买到?
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xtj239

木虫 (著名写手)



relonfbq(金币+1):谢谢参与
relonfbq(金币+1): 2011-04-26 14:01:36
可以用氯化钙出去氟化氢
2楼2011-04-07 11:50:46
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cs123292

铁杆木虫 (职业作家)



relonfbq(金币+1):谢谢参与
relonfbq(金币+1): 2011-04-26 14:01:42
用氯化物做前驱体,不用氟化物。冷阱吸收!
3楼2011-04-07 12:31:56
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5501916164楼
2011-04-07 12:50  
relonfbq(金币+1):谢谢参与
2011-04-07 18:06  
relonfbq(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by xtj239 at 2011-04-07 11:50:46: 可以用氯化钙出去氟化氢

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