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【求助】如何利用 MEMS技术制作参比电极,通常采用什么材料？ 已有2人参与
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各位前辈，大侠，版主。 本人刚接触电化学检测不久，想基于MEMS技术制作一个葡萄糖传感器，是基于检测过氧化氢原理的。 查了一些文献，在制作的时候， 初步计划工作电极和对电极用铂 pt 或者金Au。 这两种电极可以利用溅射或者蒸发等方法在硅片上制作出来。 可是，参比电极用什么材料呢？ 也可以用pt吗？这样对加工来说应为是同一种材料最方便了。 如果不行的话，看到有文献用Ag/AgCl 做参比电极。那在硅片上怎样制作Ag/AgCl 参比电极呢？是溅射一层Ag材料吗？ 还看到一些国外的文献有用pt 工作电极，pt对电极 和Ir/Irox 作为三电极的。也行吗？Ir/Irox 参比电极 是制作一层Ir （铱）金属吗？ 本人挺迷惑的，谢谢各位前辈了。 |
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