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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电分析测试 » 【求助】如何利用 MEMS技术制作参比电极,通常采用什么材料？
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liuyaxin

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】如何利用 MEMS技术制作参比电极,通常采用什么材料？ 已有2人参与

各位前辈，大侠，版主。

本人刚接触电化学检测不久，想基于MEMS技术制作一个葡萄糖传感器，是基于检测过氧化氢原理的。

查了一些文献，在制作的时候，
初步计划工作电极和对电极用铂 pt 或者金Au。
这两种电极可以利用溅射或者蒸发等方法在硅片上制作出来。
可是，参比电极用什么材料呢？

也可以用pt吗？这样对加工来说应为是同一种材料最方便了。
如果不行的话，看到有文献用Ag/AgCl 做参比电极。那在硅片上怎样制作Ag/AgCl 参比电极呢？是溅射一层Ag材料吗？
还看到一些国外的文献有用pt 工作电极，pt对电极 和Ir/Irox 作为三电极的。也行吗？Ir/Irox 参比电极 是制作一层Ir （铱）金属吗？
本人挺迷惑的，谢谢各位前辈了。
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感谢小木虫
1楼 2011-04-05 16:51:42
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胡争明

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2011-04-05 23:10:22
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小y_无心

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，你看的国外文献可以发下链接吗？
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3楼2019-03-12 09:20:14
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