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小小蕾蕾

金虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家做旋涂时薄膜退火用的是什么啊？

我做旋涂，结构是这样的：A/B/C/基片。涂完之后要退火，我用的就是箱式炉，放在石英舟里，可是退火之后容易落上灰尘，不利于再次旋涂，我看文献中有的是用碘钨灯。。可是我们没有那个条件，大家都是怎么处理这个问题的呀？
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1楼 2011-04-04 09:49:50
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智能机器人

Robot (super robot)

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