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小小蕾蕾

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[交流] 【讨论】大家做旋涂时薄膜退火用的是什么啊?

我做旋涂,结构是这样的:A/B/C/基片。涂完之后要退火,我用的就是箱式炉,放在石英舟里,可是退火之后容易落上灰尘,不利于再次旋涂,我看文献中有的是用碘钨灯。。可是我们没有那个条件,大家都是怎么处理这个问题的呀?
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