[交流] 【求助】抛光试样问题，怎么抛才能抛的好呢？？？

材料是SiC
要做扫描背散射电子
先用P2500打磨（还用的预磨机）到不能再打的境界了，上面仍然有很多肉眼可见的划痕，但是亮了很多了，有点偏向镜面的感觉
之后用W0.5的金刚石研磨膏磨，基本上没有什么变化，这已经都磨了3天了。。。
今天问老师要了抛光剂，就是那种喷雾式的，粒度是1微米的，磨了一会，发现反而试样表面变暗了！！！而且很花，都快可以当磨砂玻璃了，天啊，我磨了这么久的试样啊，就这么给毁了！！！
想问下这到底是为什么啊？还有什么方法改进啊？
还有用研磨膏和砂纸特别慢，有没有什么方法快点，我的试样很多，怕磨不完了。。。

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1楼 2011-04-02 18:32:16

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loverain0626

金虫 (小有名气)

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Missile521(金币+2): 鼓励新虫！ 2011-04-17 16:11:28
lh522(金币+1): 2011-04-27 22:50:06

其实陶瓷中氧化锆陶瓷是最好抛光的，SiC并不是非常容易。个人推荐如果可以树脂镶样然后上机抛光的话效果非常好，采用标乐的大颗粒盘加研磨膏粗磨，然后再用1#研磨膏细抛，效果非常好。不过要是不能镶样的话手抛最好先用粗一点的砂纸加40#研磨膏，一定要抛到没有砂轮打磨的划痕为止，之后再依次用小号的研磨膏抛光。
ps：出现小号研磨膏抛光时抛花试样的情况比较正常，这时可以从大一点的号再重新抛。记住有的时候见好就收，达到要求就行，如果贪心很容易越抛越差